KLA Tencor war auf der Suche nach einem geeigneten Partner für die Entwicklung einer neuen Referenzkomponente. Dieser Baustein war für die Kalibrierung von 3D-Vision-Messmaschinen in der IC-Fertigung vorgesehen.
Diese Messkomponente scheint ein einfaches Teil zu sein. Doch dahinter steht eine vielfältige Produktionsmethode. Für die Entwicklung der Kalibrierplatte waren Laserschneiden, CNC-Technik und eine Portion Engineering erforderlich. Die oben sichtbaren Kugeln sind gezielt eingebettet, um über ein Messmuster einen Bezugsrahmen zu schaffen. Nach der Produktion werden diese Komponenten kontaktlos vermessen und über ein Visionssystem kalibriert.
Ein innovativer und unkonventioneller Ansatz führte zu einem selbst entwickelten Produkt, das die Anforderungen von KLA Tencor voll und ganz erfüllt. Inzwischen sind aus dem ersten Produkt mehrere Typen entstanden.
