Hoge precisie kalibratieplaatjeMeetmachinekalibratie

Hoog nauwkeurig lasersnijden

Nieuw referentiecomponent

KLA Tencor zocht een geschikte partner voor de ontwikkeling van een nieuwe referentiecomponent. Deze component was bestemd om 3D-visie meetmachines te kalibreren in de IC-productie.

 

Meervoudige productiemethode

Deze meetcomponent lijkt een eenvoudig onderdeel. Toch zit er een meervoudige productiemethode achter. Lasersnijden, CNC-technologie en een dosis engineering waren nodig om het kalibratieplaatje te ontwikkelen. De zichtbare kogeltjes bovenaan zijn specifiek ingebed om via een maatpatroon een referentiekader te creƫren. Na de aanmaak worden deze componenten contactloos opgemeten en gekalibreerd via een visie-systeem.

 

Een innovatieve en niet-conventionele benadering leidde tot een eigen ontwikkeld product dat volledig voldoet aan de vraag van KLA Tencor. Uit het eerste product groeiden intussen meerdere types.

 

We can offer you a solution

Ask your question