Innoverend product voor
meetmachines

IC-productie

Nieuw referentiecomponent

KLA Tencor zocht een geschikte partner voor de ontwikkeling van een nieuw referentiecomponent. Deze component was bestemd voor 3D-visie meetmachines in de IC-productie.

 

Meervoudige productiemethode

Deze meetcomponent lijkt een eenvoudig onderdeel. Toch zit er een meervoudige productiemethode achter. Lasersnijden, CNC-technologie en een dosis engineering waren nodig om het meetplaatje te ontwikkelen. De zichtbare kogeltjes bovenaan zijn specifiek ingebed om via een maatpatroon een referentiekader te cre├źren. Na de aanmaak worden deze componenten contactloos opgemeten en gekalibreerd via een visie-systeem.

 

Een innovatieve en niet-conventionele benadering leidde tot een eigen ontwikkeld product dat volledig voldoet aan de vraag van KLA Tencor. Uit het eerste product groeiden intussen meerdere types.

 

We can offer you a solution

Ask your question