KLA Tencor was op zoek naar een geschikte partner voor de ontwikkeling van een nieuwe meetkalibratieplaat. Deze plaat wordt gebruikt voor het uitlijnen en kalibreren van 3D-visie meetmachines bij de productie van Integrated Circuits.
Dit stukje lijkt op het eerste zicht eenvoudig. Toch waren er verschillende bewerkingen nodig voor de productie van het kalibratieplaatje. Zo werd het plaatje eerst in vorm gesneden door middel van (micro) lasersnijden, daarna werden gaatjes gefreesd om tot slot een hoog nauwkeurige positionering uit te voeren van de meetkogeltjes. De kogels zijn gepositioneerd volgens een bepaald meetpatroon, door het opmeten van dit meetpatroon kan een meetmachine uitgelijnd en gekalibreerd worden.
Een innovatieve en niet-conventionele aanpak leidde tot deze hoog nauwkeurige oplossing dat volledig voldoet aan de wensen van de klant. Inmiddels zijn er verschillende soorten beschikbaar met telkens verschillende afmetingen en nauwkeurigheid.
